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            產(chǎn)品中心

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            真空機械手 SM11

            直驅電機結構具有更高的真空特性,內部結構沒有齒輪,皮帶等部件,系統(tǒng)運行的平穩(wěn)性更好,可靠性更高。全新的IO模塊,具有更多的輸出輸入引腳,用戶可以根據(jù)需求配置成互鎖,傳感器檢測等功能。輸入信號支硬件中斷功能,方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應用。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護功能,減少用戶誤操作導致的各種損失。帶有大屏幕機器人示教器,方便調試人員使用,并支持熱插拔功能。可以根據(jù)客戶應用的特殊要求,定制手臂尺寸,耐高溫耐腐蝕特性等。

            advantages

            產(chǎn)品優(yōu)勢
            • 性能安全穩(wěn)定可靠
              運行平穩(wěn)性好、高真空度
            • 高品質
              具有高剛性、高速度、高精度等優(yōu)勢
            • 性價比優(yōu)越
              適用于潔凈領域,輕量級設計使其與產(chǎn)線融于一體,作業(yè)空間利用率高
            • 高潔凈度
              優(yōu)選材料、加工以及表面處理
            • 控制技術優(yōu)越
              動作靈活輕巧快捷,操作持久耐用
            • 高優(yōu)良特性
              滿足各類柔性化集成和生產(chǎn)等優(yōu)良特性于一體

            Application areas

            產(chǎn)品應用領域

            parameter

            產(chǎn)品參數(shù)
            • 晶圓尺寸

              φ200mm

            • 負載重量

              ≤0.5Kg

            • R軸重復定位精度

              ±0.05mm

            • θ軸重復定位精度

              ±0.006°

            • R軸行程

              ≤530.5mm

            • T軸行程

              360°

            • 真空度

              <1×10-7 Torr

            • 漏率

              <1×10-9 std.cc/sec He

            • 整機重量

              25kg

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