您當(dāng)前所在位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 潔凈機(jī)器人
耦合傳動(dòng)、伺服驅(qū)動(dòng)、潔凈傳動(dòng)及潤(rùn)滑、SCARA手臂結(jié)構(gòu)，具有占用空間小、大伸縮比、高精度、高潔凈度等優(yōu)點(diǎn)。迎合個(gè)性化設(shè)計(jì)，手指及接口用戶可定制，網(wǎng)絡(luò)化控制系統(tǒng)，高效率傳片和碰撞保護(hù)功能，SEMI認(rèn)證S2、F47，MCBF大于1000萬(wàn)次。負(fù)責(zé)完成晶圓在FOUP、緩沖室、工藝位置等之間的自動(dòng)傳送。是半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)越之選擇。
柱坐標(biāo)型/SCARA型
晶圓
2寸/4寸/6寸/8寸/12寸/
≤0.5kg
2
580mm
450mm
270°
670mm
<1s
0.7s/180°
1.2S/450mm
±0.1mm (3σ)
±0.006°(3σ)
±0.1mm (3σ)
ISO CLASS 1
60kg
208VAC(50Hz/60Hz)
670mm
