您當前所在位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 潔凈機器人
耦合傳動、伺服驅(qū)動、潔凈傳動及潤滑、SCARA手臂結(jié)構(gòu)，具有占用空間小、大伸縮比、高精度、高潔凈度等優(yōu)點。迎合個性化設計，手指及接口用戶可定制，網(wǎng)絡化控制系統(tǒng)，高效率傳片和碰撞保護功能，SEMI認證S2、F47，MCBF大于1000萬次。負責完成晶圓在FOUP、緩沖室、工藝位置等之間的自動傳送。是半導體行業(yè)的優(yōu)越之選擇。
柱坐標型/SCARA型
2寸/4寸/6寸/8寸/12寸/
≤0.5kg
4
2
586mm
450mm
340°
660mm
0.7s/180°
1.2S/450mm
ISO CLASS 1
70kg
660mm
