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SMIF是一種晶圓裝載與檢測集成裝置，適用于6寸和8寸晶圓盒的自動開關盒，效率高，穩(wěn)定性好，重復定位精度高，潔凈等級為Class1；具有兼容150mm和200mm晶圓的mapping功能，能自動檢測盒內(nèi)各槽晶圓狀態(tài)，例如單片、跨片；具有開盒時自動識別盒內(nèi)晶圓尺寸的功能，更加便于使用；具有靈敏的晶圓滑出保護功能，可以自動監(jiān)測盒內(nèi)異常狀況，有效保護晶圓；具有實時檢測的機械手互鎖和光柵互鎖功能，可以有效保護機械手以及人身安全；具有RFID讀取功能。新松SMIF為全流程中國大陸自主設計制造，推動了國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)鏈的進步，有效的支撐了國內(nèi)半導體設備的發(fā)展。
200mm Carrier
0.8kg (需要進行5kg配重提升三次測試)
±0.1mm
RFID讀取、微型光電傳感器、對射式光電傳感器
耐酸鋁+不銹鋼
815H*365W*425D（mm）
65kg
帶有片盒載荷傳感器
MTBF：17000h
12.5s
14s
