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            產(chǎn)品中心

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            立式爐Mini STK

            立式爐Mini STK應(yīng)用于立式爐管設(shè)備前端,適用于FOUP的轉(zhuǎn)運(yùn) 、暫存和開(kāi)盒。

            advantages

            產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
            • 一體成型設(shè)計(jì)
              整機(jī)一體成型設(shè)計(jì)
            • 自主研發(fā)
              自主研發(fā)FTR機(jī)械手,適配多類型300mm FOUP
            • 搭載雙口開(kāi)盒器
              后端搭載雙口開(kāi)盒器(FIMS),實(shí)現(xiàn)Front N2 purge
            • 可選配
              可選配Shelf N2 purge

            Application areas

            產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域

            parameter

            產(chǎn)品參數(shù)
            • 外形尺寸

              1745×1100×3500(mm)

            • 工位數(shù)

              18

            • 負(fù)載

              ≤10kg

            • 重復(fù)位置精度

              ±0.1mm

            • 振動(dòng)

              ≤0.3g

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